Analyses et surface
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Microscopie électronique à balayage couplée à la microanalyse X


Cet équipement permet de fournir rapidement des informations sur la morphologie et la composition élémentaire d’un objet solide. Sa grande commodité d’utilisation, sa souplesse pour visualiser des champs d’extension très variables sur des échantillons massifs, l’étendue de sa profondeur de champ font du MEB un outil indispensable dans l’exploration du monde microscopique.


Il est constitué de deux appareillages couplés :

-  Le MEB : technique de microscopie électronique basée sur le principe des interactions électrons-matière, capable de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon.
-  La microanalyse X : le détecteur EDX reçoit les photons émis par la matière suite à l’excitation électronique, et les trie suivant leur énergie. Chaque valeur d’énergie étant caractéristique d’un niveau d’énergie d’un élément chimique, il est possible d’identifier les éléments contenus dans la matière.
Cette technique permet donc d’obtenir simultanément des informations morphologiques (images) et chimiques (composition élémentaire) d’un échantillon.

Appareillage :

Microscope électronique à balayage à pression variable HITACHI S3000N :
- Grandissement jusqu’à x100 000
- Pression variable ->Pas de métallisation sur les échantillons non conducteurs
- Platine Pelletier : congélation des échantillons organiques à -30°C pour une observation non destructive
- 2 types d’images : contraste topographique (mode SE)
contraste chimique (mode BSE)

Détecteur EDX UltraDry, Thermo Electron :
- Cristal Si, fenêtre NORVAR
- Détection à partir du béryllium
- Résolution en énergie : 132 eV sur la raie K (Mn)
- Résolution spatiale : 1 µm3